极紫外多层膜反射镜是极紫外光刻体系的中心光学元件。极紫外光刻体系要高功能的极紫外多层膜，包含高反射率、低应力、高稳定性和高均匀性。关于极紫外光刻体系中的投影物镜，有必要对镀制在其上的极紫外多层膜进行超高精度的膜厚散布操控，以便完成波长匹配和减小镀膜引起的面形差错。
近来，中国科学院长春光学精密机械与物理研讨所应用光学国家重点试验室金春水研讨团队在极紫外多层膜膜厚散布超高精度操控研讨方面取得新发展：经过选用遗传算法，完成了Φ200mm曲面基底上极紫外多层膜膜厚散布操控精度优于±0.1%，镀膜引起的不行补偿面形差错小于0.1nmRMS，相关目标到达世界领先水平。相关成果在线发表于近期的10.1364/OL.40.003958)上。
极紫外多层膜反射镜是极紫外光刻体系的中心光学元件。极紫外光刻体系要高功能的极紫外多层膜，包含高反射率、低应力、高稳定性和高均匀性。关于极紫外光刻体系中的投影物镜，有必要对镀制在其上的极紫外多层膜进行超高精度的膜厚散布操控，以便完成波长匹配和减小镀膜引起的面形差错。
该研讨团队选用遗传算法，完成了磁控溅射源特性参数的反演和用于操控膜厚散布的公转调速曲线的反演，避免了直接丈量磁控溅射速率空间散布的繁琐进程，减少了极紫外多层膜膜厚操控工艺的迭代次数，大幅度的降低了取得超高膜厚散布精度极紫外多层膜反射镜的工艺本钱。
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