国家知识产权局信息数据显现，安徽万维克林精细配备有限公司请求一项名为“一种晶圆蚀刻清洗后枯燥设备”的专利，公开号CN121025757A，请求日期为2025年9月。专利摘要显现，本发明触及晶圆枯燥技能领域，详细触及一种晶圆蚀刻清洗后枯燥设备，包含外壳单元以及枯燥单元；所述外壳单元包含枯燥箱，所述枯燥箱内设置有隔板；所述枯燥单元包含滚动装置在所述隔板上滚动盘，所述滚动盘与所述隔板之间固定装置有齿环，所述滚动盘上设置有五个滚动轴，所述滚动轴底部固定装置有齿轮，所述滚动轴顶部设置有夹持环。相较于现存技能，本请求经过夹持环的滚动效果使晶圆相对夹持环滚动，使晶圆各部位均能充沛暴露在枯燥气体中，保证枯燥的全面性和充沛性，并且夹持环驱动晶圆滚动完成了对转速的成倍扩大，有用提高了甩干转速，从而显着提高了枯燥功率，降低了电机的作业负荷，削减电机因长时间高负荷运转而发生的磨损和毛病危险。
天眼查资料显现，安徽万维克林精细配备有限公司，成立于2020年，坐落合肥市，是一家以从事其他制造业为主的企业。企业注册资本1456万人民币。经过天眼查大数据分析，安徽万维克林精细配备有限公司参加招投标项目7次，产业线条，此外企业还具有行政许可4个。
声明：商场有危险，出资需谨慎。本文为AI根据第三方数据生成，仅供参考，不构成个人出资主张。
