关光路电源,关膜厚仪，关放气阀→开低阀(抽5-6分钟)→关低阀.等分散泵温度为130-135度时就可关预阀,关机械泵.→关冷阱,关气,关总电源,关水,空压机,空气过滤机.
当高线)→确保束流为零,挡板封闭→开高压→先让灯丝聚集的亮点在膜料中心→渐渐加束流(三氧化二铝220,氧化锆240,氟化镁60-70)→熔料后确保束流为零→关高压.
确保操控波长,光控电源都正常,→把作业电压为调为100v,调理膜厚仪为膜料相应数值,旋转比较片,坩埚→先把膜料扫一遍(加热).找到亮点时确保束流适宜开挡板(三氧化二铝220,氧化锆240,氟化镁30,)镀的过程中时间监督膜厚仪的改变跳动的起伏跟点的方位.镀完后关束流为零,高压,挡板都封闭然关枪灯丝→后关作业电压,烘烤电压,→关高阀→关复合真空计→敞开气阀(十分钟后).
开机的程序:开水,开气,开电源,开冷阱→开机械泵→开预阀→开分散泵→关预阀→开低阀.(抽几分钟)
敞开气→开室门整理真空室→旋转坩埚→增加膜料→换比较片→装镜片上盘(确保镜片外表洁净,而且要放平)→封闭室门→关放气→关预阀→开低阀→开作业电压为30ⅴ,烘烤电压为100ⅴ(此刻分散泵温度应为195度)→开复和线Pa)→关低阀→开预阀→开高阀→开枪灯丝
