7月1日，韩国三星先进技能研讨院与首尔国立大学的联合研讨团队在世界学术期刊《NATURE》(天然)宣布最新MicroLED研讨效果，其成功研制出直径1.5微米的高效红光InGaN基MicroLED，峰值外量子功率(EQE)达6.5%，峰值波长649nm，且具有柔性特性，可打破AR、VR等元世界设备微型化、高清化显现的要害瓶颈。
具有不同ALD钝化层的红光纳米LED的光致发光(PL)和电致发光(EL)(图片来自：NATURE)
研讨团队选用1nm厚的外延氮化铝(AlN)钝化层技能，经过氩等离子体辅佐原子层堆积(ALD)工艺，在MicroLED侧壁构成单晶AlN薄膜。这种超薄钝化层能有实际效果的削减非辐射复合，处理了传统红光MicroLED因尺度缩小(5微米)导致的功率骤降问题。比照试验显现，该技能使光致发光强度提高2.5倍，发光衰减时刻延伸4倍，远超传统二氧化铪(HfO₂)或三氧化二铝(Al₂O₃)钝化层的功能。
而为完成Micro LED柔性显现，研制团队将MicroLED阵列倒装键合到聚酰亚胺(PI)基板，经过操控界面附着力完成硅衬底无剥离移除，终究取得厚度缺乏20m的柔性器材。测验依据效果得出，这种柔性红光MicroLED在曲折状态下仍保持稳定发光，亮度均匀性杰出。
研讨团队表明，该效果打破了红光MicroLED功率与尺度、刚性基板的约束。其1.5m的发光尺度和6.5%的EQE，满意超高密度(5000ppi)显现需求，可应用于AR眼镜乃至电子隐形眼镜等下一代设备。未来，经过优化铟镓氮外延层和集成驱动电路，有望逐渐提高功率均匀性，推进全彩柔性MicroLED显现的商业化进程。
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